国产光刻机的突破,从告别自嗨开始 网文资讯

国产光刻机的突破,从告别自嗨开始

日前,光刻机市场有两个新的动向,一个是哈尔滨工业大学公布了一项“高速超精密激光干涉仪”研发成果,并获得了首届“金燧奖”中国光电仪器品牌榜金奖,被一些人宣称解决了7nm以下的光刻机难题。 一个是国内某公...